纳米二氧化钌及其电阻浆料形成
美国专利4397774是飞利浦公司申请的,内容有关电阻浆料,其中作为导电相的二氧化钌的制备方法比较独特,得到的电阻浆料的电阻温度系数也很小,这里简介它的要点。
浆1g三氯化钌投入25ml水中制成溶液,向这个溶液中投入25g硅石粉(SiO2-2H2O)使其成为悬浮液,将这个悬浮液置于球磨机中研磨1hr,随后中80摄氏度的温度中蒸发干燥,干燥过程要不断地搅拌,将干燥得到的粉末加热到600摄氏度保持1hr,然后冷却到室温。
制作电阻浆料用的玻璃粉成分是:PbO-71.7%、SiO2-21%、B2O3-5%、Al2O3-2.3%,这里的百分比是根据玻璃粉的总分量。
电阻浆料经过丝网印刷在氧化铝陶瓷基片上形成电阻体,印刷湿膜厚度30微米,枯燥在150摄氏度10分钟,烧结峰值条件是600摄氏度10分钟。
RuO2/玻璃(分量比) 电阻率(ohm/口) TCR(ppm/C)
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